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如何保证10-12层板的层间对位精度？
文章出处：网责任编辑：作者：人气：-发表时间：2026-06-11 08:53:00
对位精度是决定层间过孔（尤其是盲埋孔）能否准确连接的关键。控制措施包括：
• 前工序尺寸稳定：采用LDI激光直接成像设备，避免菲林变形误差；车间保持恒温恒湿（温度±2℃、湿度±5%RH），减少基材伸缩。
• 高精度定位系统：使用四靶标定位或X-RAY打靶技术，在压合前对各层芯板进行精准对位。恒成和引入了视觉对位系统及熔合对位工艺，确保初始位置高度一致。
• 全流程数据追踪：每批次板建立涨缩数据库，供后续补偿使用。
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